ASML lanzará en el 2021 las primeras máquinas que permitan litografías de 2nm y 1nm EUV

La compañía holandesa ASML es la única compañía del mundo capaz de producir máquinas de litografía EUV. El año pasado vendió 26 maquinas de litografía EUV, las cuales fueron principalmente compradas por TSMC y Samsung para dar vida sus procesos de fabricación de 7nm y 5nm.

En la actualidad, las máquinas de litografía enviadas por ASML son principalmente la NXE: 3400B y su versión mejorada, la NXE: 3400C. La estructura básica de las dos es la misma, pero la NXE: 3400C adopta un diseño modular, lo que facilita el mantenimiento y que el tiempo promedio de reparación se acortara de 48 horas a 10-8 horas, y soporta tanto los 7nm como los 5nm. Además, esta versión mejorada permite la creación de 175 WPH (obleas procesadas por hora) frente a las 125 del modelo original.

Ahora ASML ha anunciado que su primera máquina capaz de crear procesos de fabricación de 2nm EUV y 1nm EUV se lanzará en el año 2021. De acuerdo con la fórmula de resolución de la máquina de litografía, cuanto mayor sea el número de NA, mayor será la precisión de la máquina de litografía. La futura EXE: 5000 tiene un NA de 0,55, frente a los actuales 0,33 de las máquinas de 7nm y 5nm.

Las máquinas de litografía de la próxima generación de la serie EXE: 5000 están orientadas principalmente a la era posterior a los 3nm. En la actualidad, las hojas de ruta del proceso de fabricación anunciadas por Samsung y TSMC han alcanzado los 3nm, 2nm e incluso procesos de 1nm todavía están siendo concebidos. Pero para dar vida a estos procesos primero se requiere de una nueva generación de máquinas litográficas EUV que lo permitan.

Según la información de ASML, la máquina de litografía de la EXE: 5000 se lanzará tan pronto como 2021, pero el prototipo sigue siendo lo primero. Pasarán varios años antes de que se use realmente para la producción en masa. Y esto podría ocurrir en el año 2023 o 2024.

vía: MyDrivers

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